Micropipe healing in liquid phase epitaxial growth of SiC

Tyck till om SwePub Sök här!

Yakimova, RositsaLinköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial (författare)

In this study we demonstrate the feasibility of micropipe reduction in SiC commercial wafers by using liquid phase epitaxial (LPE) growth. We have studied the stability of the micropipe healing by performing hot KOH etching and growing thick (40-50 mum) layer with sublimation epitaxy at temperature higher than that used for the LPE growth. Experimental evidences have been collected by means of different techniques and a phenomenological model for micropipe healing is proposed.

Syväjärvi, MikaelLinköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial(Swepub:liu)miksy08 (författare)
Rendakova, SLinkoping Univ, Dept Phys & Measurement Technol, SE-58183 Linkoping, Sweden TDI Inc, Gaithersburg, MD 20877 USA Howard Univ, MSRCE, Washington, DC 20059 USA (författare)
Dimitriev, VALinkoping Univ, Dept Phys & Measurement Technol, SE-58183 Linkoping, Sweden TDI Inc, Gaithersburg, MD 20877 USA Howard Univ, MSRCE, Washington, DC 20059 USA (författare)
Henry, AnneLinköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial(Swepub:liu)annhe32 (författare)
Janzén, ErikLinköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial(Swepub:liu)erija14 (författare)
Linköpings universitetTekniska högskolan (creator_code:org_t)

Ingår i:Materials Science Forum, Vols. 338-342: Trans Tech Publications Inc., s. 237-2409780878498543

Av författaren/redakt...: Yakimova, Rosits ...; Syväjärvi, Mikae ...; Rendakova, S; Dimitriev, VA; Henry, Anne; Janzén, Erik

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.