SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

onr:"swepub:oai:lup.lub.lu.se:60fb51a9-2e2b-479d-a091-af7a150a7757"
 

Sökning: onr:"swepub:oai:lup.lub.lu.se:60fb51a9-2e2b-479d-a091-af7a150a7757" > Nanoelectrochemical...

Nanoelectrochemical transducers for (bio-) chemical sensor applications fabricated by nanoimprint lithography

Beck, Marc (författare)
Lund University,Lunds universitet,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
Persson, F (författare)
Carlberg, Patrick (författare)
Lund University,Lunds universitet,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
visa fler...
Graczyk, Mariusz (författare)
Lund University,Lunds universitet,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
Maximov, Ivan (författare)
Lund University,Lunds universitet,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
Ling, TGI (författare)
Montelius, Lars (författare)
Lund University,Lunds universitet,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Lunds Tekniska Högskola,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
Ling, T G I (författare)
visa färre...
 (creator_code:org_t)
Elsevier, 2004
2004
Engelska.
Ingår i: Microelectronic Engineering. - : Elsevier. - 1873-5568. ; 73-74, s. 837-842
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Abstract Ämnesord
Stäng  
  • Nanometer-structured transducers for commercial use in pharmaceutical, medical or (bio-) chemical analysis have so far been hardly accessible since they could not be produced by parallel lithography techniques at reasonable costs. We introduce here a method on. how to fabricate nanometer-structured interdigitated array electrodes including interconnections and bond pads in the micrometer range in a single imprint step on 2-in. wafer scale. The method enables the mass production of those devices at lowest cost opening a new field for the commercial use of nanometer-structured sensor systems.

Ämnesord

NATURVETENSKAP  -- Fysik -- Den kondenserade materiens fysik (hsv//swe)
NATURAL SCIENCES  -- Physical Sciences -- Condensed Matter Physics (hsv//eng)
NATURVETENSKAP  -- Fysik (hsv//swe)
NATURAL SCIENCES  -- Physical Sciences (hsv//eng)

Nyckelord

transducer
nanoimprint lithography
sensor
redox cycling
interdigitated array electrode

Publikations- och innehållstyp

ref (ämneskategori)
art (ämneskategori)

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Sök utanför SwePub

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy