↓ Direkt till sidans innehåll
↓ Direkt till sidans sekundära innehåll (sidomenyn)

Tyck till om SwePub Sök här!

Träfflista för sökning "swepub ;lar1:(cth);srt2:(1990-1999);pers:(Bengtsson Stefan 1961)"

Sökning: swepub > Chalmers tekniska högskola > (1990-1999) > Bengtsson Stefan 1961

Resultat 1-10 av 53

Sortera/gruppera träfflistan

Sortering: Träffar per sida:

Numrering	Referens	Omslagsbild	Hitta
1.	Edholm, Bengt, et al. (författare) Reliability Evaluation of Manufacturing Processes for Bipolar and MOS Devices on Silicon-On-Diamond Materials 1996 Ingår i: J Electrochem Soc. ; 143:4, s. 1326-1334 Tidskriftsartikel (refereegranskat)
2.	Ljungberg, K, et al. (författare) Spontaneity of hydrophobic Si-Si bonding, and properties of the bonded interfaces 1993 Ingår i: Proc of the 2nd International Symposium on Semiconductor Wafer Bonding. The Electrochemical Society. ; 93:29, s. 473- Konferensbidrag (refereegranskat)
3.	Ljungberg, Karin, et al. (författare) The effects of HF-cleaning prior to silicon wafer bonding 1995 Ingår i: Journal of the Electrochemical Society. - : The Electrochemical Society. - 0013-4651 .- 1945-7111. ; 142:4, s. 1297-1303 Tidskriftsartikel (refereegranskat)
4.	Ljungberg, Karin, et al. (författare) Characterization Of Spontaneously Bonded Hydrophobic Silicon Surfaces 1994 Ingår i: Journal Of The Electrochemical Society. - 0013-4651 .- 1945-7111. ; 141:2, s. 562-566 Tidskriftsartikel (refereegranskat)
5.	Ljungberg, Karin, et al. (författare) Formation of directly bonded Si/Si interfaces in ultra-high vacuum 1997 Ingår i: Applied Surface Science. ; 117, s. 813-819, s. 813- Tidskriftsartikel (refereegranskat)
6.	Afanasev, V. V., et al. (författare) Wafer Bonding Induced Degradation Of Thermal Silicon Dioxide Layers On Silicon 1995 Ingår i: Applied Physics Letters. ; 66:13, s. 1653-1655 Tidskriftsartikel (refereegranskat)
7.	Bengtsson, Stefan, 1961, et al. (författare) Applications of aluminium nitride films deposited by reactive sputtering to silicon-on-insulator materials 1996 Ingår i: Japanese Journal of Applied Physics. - 1347-4065 .- 0021-4922. ; 35:8R, s. 4175-4181 Tidskriftsartikel (refereegranskat)
8.	Bengtsson, Stefan, 1961, et al. (författare) Characterisation of interface electron state distributions at directly bonded silicon/silicon interfaces 1990 Ingår i: ESSDERC 90. 20th European Solid State Device Research Conference. ; , s. 1- Konferensbidrag (refereegranskat)abstract Measurement methods for characterizing the electrical properties of directly bonded Si/Si n/n-type or p/p-type interfaces are presented. The density of interface states in the bandgap of the semiconductor and the density of interface charges at the bonded interface are determined from measurements of current and capacitance vs. applied voltage
9.	Bengtsson, Stefan, 1961 (författare) Characterization of thin SOI layers 1995 Ingår i: Proceedings of the Third International Symposium on Semiconductor Wafer Bonding: Physics and Applications. ; , s. 221- Konferensbidrag (refereegranskat)abstract Silicon-on-insulator materials still suffer from imperfect electrical and crystalline quality and a spread in performance is observed. Viable characterization techniques are necessary to advance the quality of the materials. This paper gives an overview of characterization methods for silicon-on-insulator materials. Different techniques, both destructive and nondestructive, for determination of silicon and silicon dioxide film thicknesses, structural defects and impurities are reviewed. The potentials and limits of different techniques for silicon-on-insulator material characterization are discussed and some examples of results are given primarily for silicon-on-insulator materials formed by wafer bonding
10.	Bengtsson, Stefan, 1961, et al. (författare) Charge carrier injection into the buried oxide of wafer bonded silicon-on-insulator materials 1994 Ingår i: Proc. 6th International Symposium on Silicon-On-Insulator Technology and Devices. The Electrochemical Society.. ; 94:11, s. 245- Tidskriftsartikel (refereegranskat)

Skapa referenser, mejla, bekava och länka

Länka till träfflistan

Resultat 1-10 av 53

Avgränsa träffmängd

Typ av publikation: tidskriftsartikel (32); konferensbidrag (19); samlingsverk (redaktörskap) (1); doktorsavhandling (1)

Typ av innehåll: refereegranskat (52); övrigt vetenskapligt/konstnärligt (1)

Författare/redaktör: Bengtsson, Stefa... (53)Ta bort avgränsningen; Engström, Olof, 1943 (15); Ericsson, Per, 1968 (13); Jauhiainen, Anders, ... (10); Ljungberg, Karin (8); Andersson, Mats O., ... (6); visa fler...; Bergh, Mats, 1968 (6); Södervall, Ulf, 1954 (6); Soderbarg, Anders (5); Edholm, Bengt (3); Söderbärg, Anders (3); Grey, Francois (3); Andersson, G (2); Jansson, Ulf (2); Choumas, Manolis, 19 ... (2); Mitani, K (2); Hermansson, Karin (2); Skarp, Jarmo (2); Weber, J. (1); Abe, T. (1); Olsson, Jörgen (1); Afanasev, V. V. (1); Olesen, Christian (1); Johansson, Mikael (1); Sveinbjörnsson, Eina ... (1); Jeppson, Kjell, 1947 (1); Bergh, M. (1); Bäcklund, Ylva (1); Abe, Takao (1); Jauhiainen, A (1); Tiensuu, Stefan (1); Maszara, W. P. (1); Olesen, C. (1); Litwin, A. (1); Vedde, Jan (1); Ljungberg, K (1); Keskitalo, N. (1); Kanniainen, T. (1); Westberg, David (1); Ragnarsson, Lars-Åke ... (1); Pickrell, David (1); Hoover, David (1); Andersson, M O (1); visa färre...

Lärosäte: Chalmers tekniska högskola (53)Ta bort avgränsningen; Uppsala universitet (4)

Språk: Engelska (53)

Forskningsämne (UKÄ/SCB): Teknik (53)

År

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
LIBRIS.kb.se

pil uppåt

Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy