SwePub
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "WFRF:(Johansson Kenneth) ;srt2:(1995-1999)"

Sökning: WFRF:(Johansson Kenneth) > (1995-1999)

  • Resultat 1-5 av 5
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  •  
2.
  •  
3.
  •  
4.
  • Johansson, Å. A., et al. (författare)
  • Intrinsic, n- and p-doped a-Si:H thin films grown by DC magnetron sputtering with doped targets
  • 1999
  • Ingår i: Materials Research Society Symposium Proceedings. - 0272-9172 .- 1946-4274. ; 557, s. 31-36
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract
    • Intrinsic, n- and p-type a-Si:H films were deposited by dc magnetron sputtering and analyzed with several techniques. The films were synthesized in a reactive Ar-Ha atmosphere giving H contents in the range of 3-20 at %. The films were sputtered from pure silicon targets and doped silicon targets with 1 at % B or P. Doping by co-sputtering from composite Si/B4C targets was also explored. The doping concentrations were 3 × 1020 - 2 × 1021 cm-3 for the p-type films and 2.6-2.9 × 1019cm-3 for the n-type films. The conductivity was in the range lO'MO"4 cm-1 for p-doped films and 10-5 Cl cm-1 for the best n-doped films. Band gap estimations were obtained from dielectric function data and showed an increase with hydrogen content. A comparison to device quality PECVD-samples was also made.
  •  
5.
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-5 av 5

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy