1. |
|
|
2. |
- Berg, Sören, et al.
(författare)
-
Atom assisted sputtering yield amplification
- 1992
-
Ingår i: Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films. - 0734-2101 .- 1520-8559. ; 10:4, s. 1592-1596
-
Tidskriftsartikel (refereegranskat)
|
|
3. |
|
|
4. |
- Berg, Sören, et al.
(författare)
-
Ion assisted selective thin film deposition
- 1986
-
Ingår i: Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films. - 0734-2101 .- 1520-8559. ; 4:3, s. 448-
-
Tidskriftsartikel (refereegranskat)
|
|
5. |
|
|
6. |
|
|
7. |
|
|
8. |
|
|
9. |
|
|
10. |
- Berg, Sören, et al.
(författare)
-
Process modelling of reactive sputtering
- 1989
-
Ingår i: Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films. - 0734-2101 .- 1520-8559. ; 7:3, s. 1225-1229
-
Tidskriftsartikel (refereegranskat)
|
|