SwePub
Tyck till om SwePub Sök här!
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "WFRF:(Carlberg Patrick) ;pers:(Montserrat J)"

Sökning: WFRF:(Carlberg Patrick) > Montserrat J

  • Resultat 1-2 av 2
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  •  
2.
  • Forsen, E, et al. (författare)
  • Fabrication of cantilever based mass sensors integrated with CMOS using direct write laser lithography on resist
  • 2004
  • Ingår i: Nanotechnology. - : IOP Publishing. - 0957-4484 .- 1361-6528. ; 15:10, s. 628-633
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract
    • A CMOS compatible direct write laser lithography technique has been developed for cantilever fabrication on pre-fabricated standard CMOS. We have developed cantilever based sensors for mass measurements in vacuum and air. The cantilever is actuated into lateral vibration by electrostatic excitation and the resonant frequency is detected by capacitive readout. The device is integrated on standard CMOS circuitry. In the work a new direct write laser lithography (DWL) technique is introduced. This laser lithography technique is based on direct laser writing on substrates coated with a resist bi-layer consisting of poly(methyl methacrylate) (PMMA) on lift-off resist (LOR). Laser writing evaporates the PMMA, exposing the LOR. A resist solvent is used to transfer the pattern down to the substrate. Metal lift-off followed by reactive ion etching is used for patterning the structural poly-Si layer in the CMOS. The developed laser lithography technique is compatible with resist exposure techniques such as electron beam lithography. We demonstrate the fabrication of sub-micrometre wide suspended cantilevers as well as metal lift-off with feature line widths down to approximately 500 nm.
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-2 av 2
Typ av publikation
tidskriftsartikel (1)
konferensbidrag (1)
Typ av innehåll
refereegranskat (2)
Författare/redaktör
Campabadal, F. (2)
Carlberg, Patrick (2)
Montelius, Lars (2)
Boisen, A (2)
Montserrat, J (2)Ta bort avgränsningen
Esteve, J (2)
visa fler...
Forsen, E. (2)
Abadal, G (2)
Pérez-Murano, F (2)
Figueras, E (2)
Verd, J (2)
Barniol, N (2)
Nilsson, S G (1)
Ghatnekar-Nilsson, S ... (1)
visa färre...
Lärosäte
Lunds universitet (2)
Språk
Engelska (2)
Forskningsämne (UKÄ/SCB)
Naturvetenskap (1)
Teknik (1)
År
2004 (2)

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy