SwePub
Tyck till om SwePub Sök här!
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "WFRF:(Zhu Bin) srt2:(2010-2014);pers:(Wu Dongping)"

Sökning: WFRF:(Zhu Bin) > (2010-2014) > Wu Dongping

  • Resultat 1-4 av 4
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  •  
2.
  • Zhu, Zhiwei, et al. (författare)
  • Conformal Ni-silicide formation over three-dimensional device structures
  • 2012
  • Ingår i: Applied Physics Letters. - : AIP Publishing. - 0003-6951 .- 1077-3118. ; 101:5, s. 053508-
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract
    • This letter reports on conformal formation of ultrathin Ni-silicide films over a three-dimension structure relevant to the most advanced tri-gate transistor architecture. This is achieved by combining ionization of the sputtered Ni atoms with application of an appropriate bias to the Si substrate during the sputter-deposition of Ni films. In comparison, use of ordinary DC sputtering for Ni deposition results in thinner or less uniform silicide films on the vertical sidewalls than on the top surface of the three-dimensional structure. The roughened Si sidewall surface is ascribed to be responsible for a deteriorated thermal stability of the resultant silicide films.
  •  
3.
  •  
4.
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-4 av 4
Typ av publikation
tidskriftsartikel (3)
konferensbidrag (1)
Typ av innehåll
refereegranskat (4)
Författare/redaktör
Zhang, Zhi-Bin (4)
Zhang, Shi-Li (3)
Gao, Xindong (3)
Zhu, Zhiwei (3)
Hu, Cheng (2)
visa fler...
Zhang, David Wei (2)
Kubart, Tomas (1)
Qiu, Zhijun (1)
Pi, Zhaoyang (1)
Zhang, Jingwei (1)
Zhu, Lun (1)
Piao, Yinghua (1)
Piao, Ying-Hua (1)
visa färre...
Lärosäte
Uppsala universitet (4)
Språk
Engelska (4)
Forskningsämne (UKÄ/SCB)
Teknik (4)

År

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy