SwePub
Tyck till om SwePub Sök här!
Sök i SwePub databas

  Utökad sökning

Träfflista för sökning "WFRF:(Cheng CY) srt2:(2005-2009)"

Sökning: WFRF:(Cheng CY) > (2005-2009)

  • Resultat 1-5 av 5
Sortera/gruppera träfflistan
   
NumreringReferensOmslagsbildHitta
1.
  • Luo, G, et al. (författare)
  • Suppressing phosphorus diffusion in germanium by carbon incorporation
  • 2005
  • Ingår i: Electronics Letters. - : Iet. - 0013-5194 .- 1350-911X. ; 41:24, s. 1354-1355
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)abstract
    • A problem in the Ge MOSFET process is that the phosphor-us for n-type doping in Ge diffuses very fast. It is very difficult to form the shallow source/drain p-n junctions. It is reported, for the first time, that the phosphorus diffusion in Ge during activation (or annealing) can be suppressed effectively owing to carbon incorporation.
  •  
2.
  •  
3.
  •  
4.
  •  
5.
  •  
Skapa referenser, mejla, bekava och länka
  • Resultat 1-5 av 5

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy