Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:kth-17515" >
On the electron mob...
On the electron mobility enhancement in biaxially strained Si MOSFETs
-
Driussi, F. (författare)
-
Esseni, D. (författare)
-
Selmi, L. (författare)
-
visa fler...
-
- Hellström, Per-Erik (författare)
- KTH,Integrerade komponenter och kretsar
-
- Malm, B. Gunnar (författare)
- KTH,Integrerade komponenter och kretsar
-
- Hållstedt, Julius (författare)
- KTH,Mikroelektronik och Informationsteknik, IMIT
-
- Östling, Mikael (författare)
- KTH,Integrerade komponenter och kretsar
-
Grasby, T. J. (författare)
-
Leadley, D. R. (författare)
-
Mescot, X. (författare)
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- Elsevier BV, 2008
- 2008
- Engelska.
-
Ingår i: Solid-State Electronics. - : Elsevier BV. - 0038-1101 .- 1879-2405. ; 52:4, s. 498-505
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- This paper reports a detailed experimental and simulation study of the electron mobility enhancement induced by the biaxial strain in (001) silicon MOSFETs. To this purpose, ad hoc test structures have been fabricated on strained Si films grown on different SiGe virtual substrates and the effective mobility of the electrons has been extracted. To interpret the experimental results, we performed simulations using numerical solutions of Schroedinger-Poisson equations to calculate the charge and the momentum relaxation time approximation to calculate the mobility. The mobility enhancement with respect to the unstrained Si device has been analyzed as a function of the Ge content of SiGe substrates and of the operation temperature.
Nyckelord
- strained silicon
- mobility enhancement
- characterization and Modeling
- temperature dependence
- surface roughness
- field-effect transistors
- silicon
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Driussi, F.
-
Esseni, D.
-
Selmi, L.
-
Hellström, Per-E ...
-
Malm, B. Gunnar
-
Hållstedt, Juliu ...
-
visa fler...
-
Östling, Mikael
-
Grasby, T. J.
-
Leadley, D. R.
-
Mescot, X.
-
visa färre...
- Artiklar i publikationen
-
Solid-State Elec ...
- Av lärosätet
-
Kungliga Tekniska Högskolan