Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:kth-20970" >
Liquid-jet laser-pl...
Liquid-jet laser-plasma X-ray sources for microscopy and lithography
-
- Hertz, Hans M. (författare)
- KTH,Fysik
-
Berglund, M. (författare)
-
Hansson, B. A. M. (författare)
-
visa fler...
-
Hemberg, O. (författare)
-
Johansson, G. J. (författare)
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- EDP Sciences, 2001
- 2001
- Engelska.
-
Ingår i: Journal de Physique IV. - : EDP Sciences. - 1155-4339 .- 1764-7177. ; 11:PR2, s. 389-396
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- We review the development of compact laser-plasma soft x-ray sources based on microscopic liquid-drop or liquid-jet targets. It is shown that such sources provide practically debris-free, high-flux operation at water-window and EUV wavelengths. This regenerative and solid-density target system holds promise for the generation of high-average power using high-repetition-rate lasers. Application of the source to compact x-ray microscopy, multi layer-op tics characterization and EUV lithography is briefly discussed.
Nyckelord
- droplet-target
- generation
- emission
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas