SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

id:"swepub:oai:DiVA.org:kth-278968"
 

Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:kth-278968" > Nanoelectromechanic...

Nanoelectromechanical Sensors Based on Suspended 2D Materials

Lemme, Max C. (författare)
Rhein Westfal TH Aachen, Chair Elect Devices, Otto Blumenthal Str 2, D-52074 Aachen, Germany.;AMO GmbH, Adv Microelect Ctr Aachen AMICA, Otto Blumenthal Str 25, D-52074 Aachen, Germany.
Wagner, Stefan (författare)
AMO GmbH, Adv Microelect Ctr Aachen AMICA, Otto Blumenthal Str 25, D-52074 Aachen, Germany.
Lee, Kangho (författare)
Univ Bundeswehr Munchen, Fac Elect Engn & Informat Technol, Inst Phys, Werner Heisenberg Weg 39, D-85577 Neubiberg, Germany.
visa fler...
Fan, Xuge (författare)
KTH,Mikro- och nanosystemteknik
Verbiest, Gerard J. (författare)
Delft Univ Technol, Dept Precis & Microsyst Engn, Mekelweg 2, NL-2628 CD Delft, Netherlands.
Wittmann, Sebastian (författare)
Infineon Technol AG, Wernerwerkstr 2, D-93049 Regensburg, Germany.
Lukas, Sebastian (författare)
Rhein Westfal TH Aachen, Chair Elect Devices, Otto Blumenthal Str 2, D-52074 Aachen, Germany.
Dolleman, Robin J. (författare)
Rhein Westfal TH Aachen, Inst Phys 2, Otto Blumenthal Str, D-52074 Aachen, Germany.
Niklaus, Frank, 1971- (författare)
KTH,Mikro- och nanosystemteknik
van der Zant, Herre S. J. (författare)
Delft Univ Technol, Kavli Inst Nanosci, Lorentzweg 1, NL-2628 CJ Delft, Netherlands.
Duesberg, Georg S. (författare)
Univ Bundeswehr Munchen, Fac Elect Engn & Informat Technol, Inst Phys, Werner Heisenberg Weg 39, D-85577 Neubiberg, Germany.
Steeneken, Peter G. (författare)
Delft Univ Technol, Dept Precis & Microsyst Engn, Mekelweg 2, NL-2628 CD Delft, Netherlands.;Delft Univ Technol, Kavli Inst Nanosci, Lorentzweg 1, NL-2628 CJ Delft, Netherlands.
visa färre...
Rhein Westfal TH Aachen, Chair Elect Devices, Otto Blumenthal Str 2, D-52074 Aachen, Germany;AMO GmbH, Adv Microelect Ctr Aachen AMICA, Otto Blumenthal Str 25, D-52074 Aachen, Germany. AMO GmbH, Adv Microelect Ctr Aachen AMICA, Otto Blumenthal Str 25, D-52074 Aachen, Germany. (creator_code:org_t)
AMER ASSOC ADVANCEMENT SCIENCE, 2020
2020
Engelska.
Ingår i: RESEARCH. - : AMER ASSOC ADVANCEMENT SCIENCE. - 2639-5274. ; 2020
Relaterad länk:
https://doi.org/10.3...
visa fler...
https://urn.kb.se/re...
https://doi.org/10.3...
visa färre...
  • Forskningsöversikt (refereegranskat)
Abstract Ämnesord
Stäng  
  • The unique properties and atomic thickness of two-dimensional (2D) materials enable smaller and better nanoelectromechanical sensors with novel functionalities. During the last decade, many studies have successfully shown the feasibility of using suspended membranes of 2D materials in pressure sensors, microphones, accelerometers, and mass and gas sensors. In this review, we explain the different sensing concepts and give an overview of the relevant material properties, fabrication routes, and device operation principles. Finally, we discuss sensor readout and integration methods and provide comparisons against the state of the art to show both the challenges and promises of 2D material-based nanoelectromechanical sensing.

Ämnesord

NATURVETENSKAP  -- Fysik -- Den kondenserade materiens fysik (hsv//swe)
NATURAL SCIENCES  -- Physical Sciences -- Condensed Matter Physics (hsv//eng)

Publikations- och innehållstyp

ref (ämneskategori)
for (ämneskategori)

Hitta via bibliotek

  • RESEARCH (Sök värdpublikationen i LIBRIS)

Till lärosätets databas

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy