Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:kth-29663" >
Experimental evalua...
Experimental evaluation of different passivation layers on the performance of 3kV 4H-SiC BJTs
-
- Ghandi, Reza (författare)
- KTH,Integrerade komponenter och kretsar
-
- Domeij, Martin (författare)
- KTH,Integrerade komponenter och kretsar
-
Esteve, R. (författare)
-
visa fler...
-
- Buono, Benedetto (författare)
- KTH,Integrerade komponenter och kretsar
-
Schoner, A. (författare)
-
Han, J. (författare)
-
Dimitrijev, S. (författare)
-
Reshanov, S. A. (författare)
-
- Zetterling, Carl -Mikael (författare)
- KTH,Integrerade komponenter och kretsar
-
- Östling, Mikael (författare)
- KTH,Integrerade komponenter och kretsar
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2010
- 2010
- Engelska.
-
Ingår i: Materials Science Forum. - 0255-5476 .- 1662-9752. ; 645-648:Part 1-2, s. 661-664
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.4...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- In this work, the electrical performance in terms of maximum current gain, ON-resistance and blocking capability has been compared for 4H-SiC BJTs passivated with different surface passivation layers. Variation in BJT performance has been correlated to densities of interface traps and fixed oxide charge, as evaluated through MOS capacitors. Six different methods were used to fabricate SiO2 surface passivation on BJT samples from the same wafer. The highest current gain was obtained for PECVD deposited SiO2 which was annealed in N2O ambient at 1100 degrees C during 3 hours. Variations in breakdown voltage for different surface passivations were also found, and this is attributed to differences in fixed oxide charge that can affect the optimum dose of the high voltage JTE termination.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Materialteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Materials Engineering (hsv//eng)
Nyckelord
- Surface passivation
- Bipolar Junction Transistors (BJT)
- 4H-SiC
- Materials science
- Teknisk materialvetenskap
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Ghandi, Reza
-
Domeij, Martin
-
Esteve, R.
-
Buono, Benedetto
-
Schoner, A.
-
Han, J.
-
visa fler...
-
Dimitrijev, S.
-
Reshanov, S. A.
-
Zetterling, Carl ...
-
Östling, Mikael
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Materialteknik
- Artiklar i publikationen
-
Materials Scienc ...
- Av lärosätet
-
Kungliga Tekniska Högskolan