Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:kth-339307" >
Design and fabricat...
Design and fabrication of a 4-terminal in-plane nanoelectromechanical relay
-
- Li, Yingying, 1994- (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik,MST
-
- Bleiker, Simon J. (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik
-
- Edinger, Pierre (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik
-
visa fler...
-
- Worsey, Elliot (författare)
- Univeristy of Bristol, UK
-
- Kulsreshath, Mukesh Kumar (författare)
- Univeristy of Bristol, UK
-
- Tang, Qi (författare)
- Univeristy of Bristol, UK
-
- Takabayashi, Alain (författare)
- École Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL), Switzerland
-
- Quack, Niels (författare)
- École Polytechnique Fédérale de Lausanne (EPFL), Switzerland
-
- Verheyen, Peter (författare)
- IMEC, Belgium
-
- Bogaerts, Wim (författare)
- IMEC, Belgium ; University of Ghent, Belgium
-
- Gylfason, Kristinn, 1978- (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik
-
- Pamunuwa, Dinesh (författare)
- Univeristy of Bristol, UK
-
- Niklaus, Frank, 1971- (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2023
- 2023
- Engelska.
- Relaterad länk:
-
https://transducers2...
-
visa fler...
-
https://kth.diva-por... (primary) (Raw object)
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- We present 4-terminal (4-T) silicon (Si) nanoelectronmechanical (NEM) relays fabricated on silicon-oninsulator (SOI) wafers. We demonstrate true 4-T switching behavior with isolated control and signal paths. A pull-in voltage as low as 11.6 V is achieved with the miniaturized design. 4-T NEM relays are a very promising candidate for building ultra-low-power logic circuits since they enable novel circuit architectures to realize logic functions with far fewer devices than CMOS implementations, while also allowing the dynamic power consumption to be reduced by body-biasing.
Nyckelord
- 4-T NEM relays
- in-plane Si relays
- decoupled signals
- low pull-in voltage
- ultra-low power consumption
- Electrical Engineering
- Elektro- och systemteknik
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)
- Av författaren/redakt...
-
Li, Yingying, 19 ...
-
Bleiker, Simon J ...
-
Edinger, Pierre
-
Worsey, Elliot
-
Kulsreshath, Muk ...
-
Tang, Qi
-
visa fler...
-
Takabayashi, Ala ...
-
Quack, Niels
-
Verheyen, Peter
-
Bogaerts, Wim
-
Gylfason, Kristi ...
-
Pamunuwa, Dinesh
-
Niklaus, Frank, ...
-
visa färre...
- Av lärosätet
-
Kungliga Tekniska Högskolan