Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:kth-347129" >
An Integrated Platf...
An Integrated Platform for Cavity Optomechanics with Vacuum-Sealed Silicon Photonic MEMS
-
- Edinger, Pierre (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik
-
- Jo, Gaehun, 1992- (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik
-
- Bleiker, Simon J. (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik
-
visa fler...
-
- Takabayashi, Alain Y. (författare)
- EPFL, Lausanne, Switzerland
-
- Quack, Niels (författare)
- EPFL, Lausanne, Switzerland
-
- Verheyen, Peter (författare)
- IMEC, Leuven, Belgium
-
- Khan, Umar (författare)
- IMEC, Leuven, Belgium; Ghent University, Gent, Belgium
-
- Bogaerts, Wim (författare)
- IMEC, Leuven, Belgium; Ghent University, Gent, Belgium
-
- Antony, Cleitus (författare)
- Tyndall National Institute, Cork, Ireland
-
- Niklaus, Frank, 1971- (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik
-
- Gylfason, Kristinn, 1978- (författare)
- KTH,Mikro- och nanosystemteknik
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc. 2023
- 2023
- Engelska.
-
Ingår i: 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers 2023. - : Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.. ; , s. 425-428
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Silicon photonics is an excellent platform for integrated cavity optomechanics due to silicon's high light confinement and favorable mechanical properties. However, optomechanical devices require a vacuum environment to inhibit damping due to air.We present an integrated platform for cavity optomechanics using thermo-compression bonding of silicon caps to provide on-chip vacuum sealing. We demonstrate optomechanical coupling in a vacuum-sealed ring resonator implemented on the platform, either by modulation of the laser power or by using an electrostatic phase shifter in the ring.By enabling optomechanics on a standard platform, we aim to make the technology available to a wider user base.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik -- Annan elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Nyckelord
- optomechanics
- silicon photonic foundry
- silicon photonic MEMS
- Silicon photonics
- vacuum-sealing
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)
- Av författaren/redakt...
-
Edinger, Pierre
-
Jo, Gaehun, 1992 ...
-
Bleiker, Simon J ...
-
Takabayashi, Ala ...
-
Quack, Niels
-
Verheyen, Peter
-
visa fler...
-
Khan, Umar
-
Bogaerts, Wim
-
Antony, Cleitus
-
Niklaus, Frank, ...
-
Gylfason, Kristi ...
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Elektroteknik oc ...
-
och Annan elektrotek ...
- Artiklar i publikationen
- 2023 22nd Intern ...
- Av lärosätet
-
Kungliga Tekniska Högskolan