SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

id:"swepub:oai:DiVA.org:kth-48961"
 

Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:kth-48961" > Increasing the Perf...

Increasing the Performance per Cost of Microsystems by Transfer Bonding Manufacturing Techniques

Wijngaart, Wouter van der (författare)
KTH,Mikrosystemteknik
Despont, R. Michel (författare)
Bhattacharyya, Debrabata (författare)
visa fler...
Kirby, Paul B. (författare)
Wilson, Stephen (författare)
Jourdain, Roland (författare)
Braun, Stefan (författare)
KTH,Mikrosystemteknik
Sandström, Niklas (författare)
KTH,Mikrosystemteknik
Barth, Johannes (författare)
Grund, Thomas (författare)
Kohl, Manfred (författare)
Niklaus, Frank (författare)
KTH,Mikrosystemteknik
Lapisa, Martin (författare)
KTH,Mikrosystemteknik
Zimmer, Fabian (författare)
visa färre...
 (creator_code:org_t)
2008
Engelska.
  • Annan publikation (övrigt vetenskapligt/konstnärligt)
Ämnesord
Stäng  

Nyckelord

Q2M
SMA
wafer bonding
microvalves
RF-MEMS
micromirrors
PZT

Publikations- och innehållstyp

vet (ämneskategori)
ovr (ämneskategori)

Till lärosätets databas

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy