Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:kth-50574" >
POLYSILICON MESOSCO...
POLYSILICON MESOSCOPIC WIRES COATED BY Pd AS H(2) SENSORS
-
Benetti, M. (författare)
-
Cannata, D. (författare)
-
Di Pietrantonio, F. (författare)
-
visa fler...
-
Verona, E. (författare)
-
Di Natale, C. (författare)
-
D'Amico, A. (författare)
-
Paletti, S. (författare)
-
- Lemme, Max C., 1970- (författare)
- AMO GmbH, AMICA, Aachen, Germany
-
Tibuzzi, A. (författare)
-
Margesin, B. (författare)
-
Soncini, G. (författare)
-
Betta, G. F. Dalla (författare)
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- SINGAPORE : WORLD SCIENTIFIC PUBL CO PTE LTD, 2009
- 2009
- Engelska.
-
Ingår i: PROCEEDINGS OF THE 13TH ITALIAN CONFERENCE ON SENSORS AND MICROSYSTEMS. - SINGAPORE : WORLD SCIENTIFIC PUBL CO PTE LTD. ; , s. 161-165
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- In this work a novel monocrystalline silicon nanowires array has been investigated and presented as hydrogen sensor, designed and fabricated by employing high resolution microfabrication techniques and featuring a high surface/volume ratio. The nanowires arrays makes up the channel of a MOS system, palladium-silicon dioxide-silicon. Several devices have been fabricated by using a SOI (Silicon On Insulator) substrate, Source and Drain have been geometrically patterned by optical lithography and Boron p-doped. Electron Beam Litography (EBL) defined the MOS channel made up of a nanowires array of different length and width in different transistors. The pads of Source and Drain have been manufactured with an aluminium film deposition. The Gate has been fabricated with a grown silicon oxide layer (17.4 nm) and Palladium has been used as gate contact. Polarizing and exposing the device to H(2)/N(2) cycles at different concentrations some preliminary measurements have been successfully conducted.
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Nanoteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Nano-technology (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)
- Av författaren/redakt...
-
Benetti, M.
-
Cannata, D.
-
Di Pietrantonio, ...
-
Verona, E.
-
Di Natale, C.
-
D'Amico, A.
-
visa fler...
-
Paletti, S.
-
Lemme, Max C., 1 ...
-
Tibuzzi, A.
-
Margesin, B.
-
Soncini, G.
-
Betta, G. F. Dal ...
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Nanoteknik
- Artiklar i publikationen
- PROCEEDINGS OF T ...
- Av lärosätet
-
Kungliga Tekniska Högskolan