Tyck till om SwePub Sök
här!
Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:kth-86190" >
High spatial resolu...
High spatial resolution full-field microscopy using a desktop-size soft x-ray laser
-
Brewer, Courtney A. (författare)
-
Brizuela, Fernando (författare)
-
- Martz, Dale (författare)
- NSF ERC for Extreme Ultraviolet Science and Technology, Department of Electrical and Computer Engineering, Colorado State University
-
visa fler...
-
Vaschenko, Georgiy (författare)
-
Marconi, Mario C. (författare)
-
Chao, Weilun (författare)
-
Anderson, Erik H. (författare)
-
Attwood, David T. (författare)
-
Vinogradov, Alexander V. (författare)
-
Artioukov, Igor A. (författare)
-
Pershyn, Yuriy P. (författare)
-
Kondratenko, Valeriy V. (författare)
-
Rocca, Jorge J. (författare)
-
Menoni, Carmen S. (författare)
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- SPIE, 2007
- 2007
- Engelska.
-
Ingår i: Proceedings of SPIE. - : SPIE.
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Images with nanoscale resolution were obtained in both transmission and reflection modes using a full-field microscope that is illuminated by an extremely compact λ = 46.9 nm (hv = 26.4 eV) soft x-ray laser. The microscope was used to image the surface of partially processed silicon semiconductor chips containing periodic patterns of polysilicon and metal lines. To characterize the microscope, modulation transfer functions were experimentally built for three different objective zone plates, and images with near-wavelength resolution were obtained.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Biologi (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Biological Sciences (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Annan teknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Other Engineering and Technologies (hsv//eng)
Nyckelord
- Imaging
- Microscopy
- Soft x-ray laser
- Zone plates
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)
- Av författaren/redakt...
-
Brewer, Courtney ...
-
Brizuela, Fernan ...
-
Martz, Dale
-
Vaschenko, Georg ...
-
Marconi, Mario C ...
-
Chao, Weilun
-
visa fler...
-
Anderson, Erik H ...
-
Attwood, David T ...
-
Vinogradov, Alex ...
-
Artioukov, Igor ...
-
Pershyn, Yuriy P ...
-
Kondratenko, Val ...
-
Rocca, Jorge J.
-
Menoni, Carmen S ...
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
-
NATURVETENSKAP
-
och Biologi
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Annan teknik
- Artiklar i publikationen
- Proceedings of S ...
- Av lärosätet
-
Kungliga Tekniska Högskolan