Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:liu-10452" >
Molecular content o...
Molecular content of the deposition flux during reactive Ar/O2 magnetron sputtering of Al
-
- Andersson, Jon M. (författare)
- Linköpings universitet,Plasma och ytbeläggningsfysik,Tekniska högskolan
-
- Wallin, Erik (författare)
- Linköpings universitet,Plasma och ytbeläggningsfysik,Tekniska högskolan
-
- Münger, E. Peter (författare)
- Linköpings universitet,Teoretisk Fysik,Tekniska högskolan
-
visa fler...
-
- Helmersson, Ulf (författare)
- Linköpings universitet,Plasma och ytbeläggningsfysik,Tekniska högskolan
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- Institutionen för fysik, kemi och biologi, 2006
- 2006
- Engelska.
-
Ingår i: Applied Physics Letters. - : Institutionen för fysik, kemi och biologi. - 0003-6951 .- 1077-3118. ; 88:05, s. Art. No. 054101 JAN 30 2006-
- Relaterad länk:
-
http://urn.kb.se/res...
-
visa fler...
-
https://liu.diva-por... (primary) (Raw object)
-
http://liu.diva-port...
-
https://urn.kb.se/re...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- The deposition flux obtained during reactive radio frequency magnetron sputtering of an Al target in Ar/O2 gas mixtures was studied by mass spectrometry. The results show significant amounts of molecular AlO+ (up to 10% of the Al+ flux) in the ionic flux incident onto the substrate. In the presence of ~10–4 Pa H2O additional OH+ and AlOH+ were detected, amounting to up to about 100% and 30% of the Al+ flux, respectively. Since the ions represent a small fraction of the total deposition flux, an estimation of the neutral content was also made. These calculations show that, due to the higher ionization probability of Al, the amount of neutral AlO in the deposition flux is of the order of, or even higher than, the amount of Al. These findings might be of great aid when explaining the alumina thin film growth process.
Nyckelord
- alumina
- dielectric thin films
- sputter deposition
- mass spectra
- TECHNOLOGY
- TEKNIKVETENSKAP
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas