SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

id:"swepub:oai:DiVA.org:liu-160062"
 

Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:liu-160062" > Thermodynamic stabi...

Thermodynamic stability of hexagonal and rhombohedral boron nitride under chemical vapor deposition conditions from van der Waals corrected first principles calculations

Pedersen, Henrik (författare)
Linköpings universitet,Kemi,Tekniska fakulteten
Alling, Björn (författare)
Linköpings universitet,Teoretisk Fysik,Tekniska fakulteten
Högberg, Hans (författare)
Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten
visa fler...
Ektarawong, Annop (författare)
Linköpings universitet,Teoretisk Fysik,Tekniska fakulteten,Chulalongkorn Univ, Thailand; Commiss Higher Educ, Thailand
visa färre...
 (creator_code:org_t)
A V S AMER INST PHYSICS, 2019
2019
Engelska.
Ingår i: Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films. - : A V S AMER INST PHYSICS. - 0734-2101 .- 1520-8559. ; 37:4
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Abstract Ämnesord
Stäng  
  • Thin films of boron nitride (BN), particularly the sp(2)-hybridized polytypes hexagonal BN (h-BN) and rhombohedral BN (r-BN), are interesting for several electronic applications, given the bandgaps in the UV. They are typically deposited close to thermal equilibrium by chemical vapor deposition (CVD) at temperatures and pressures in the regions 1400-1800K and 1000-10000Pa, respectively. In this letter, the authors use the van der Waals corrected density functional theory and thermodynamic stability calculations to determine the stability of r-BN and compare it to that of h-BN as well as to cubic BN and wurtzitic BN. The authors find that r-BN is the stable sp(2)-hybridized phase at CVD conditions, while h-BN is metastable. Thus, their calculations suggest that thin films of h-BN must be deposited far from thermal equilibrium.

Ämnesord

NATURVETENSKAP  -- Kemi -- Oorganisk kemi (hsv//swe)
NATURAL SCIENCES  -- Chemical Sciences -- Inorganic Chemistry (hsv//eng)

Publikations- och innehållstyp

ref (ämneskategori)
art (ämneskategori)

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Hitta mer i SwePub

Av författaren/redakt...
Pedersen, Henrik
Alling, Björn
Högberg, Hans
Ektarawong, Anno ...
Om ämnet
NATURVETENSKAP
NATURVETENSKAP
och Kemi
och Oorganisk kemi
Artiklar i publikationen
Journal of Vacuu ...
Av lärosätet
Linköpings universitet

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy