Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:liu-34955" >
Optical properties ...
Optical properties of intrinsic and doped a-Si:H films grown by d.c. magnetron sputter deposition
-
- Rantzer, Annika, 1971- (författare)
- Linköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi,Tekniska högskolan
-
- Arwin, Hans, 1950- (författare)
- Linköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi,Tekniska högskolan
-
- Birch, Jens (författare)
- Linköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi,Tekniska högskolan
-
visa fler...
-
- Hjörvarsson, B. (författare)
- Department of Materials Science, Royal Institute of Technology, Stockholm, Sweden
-
- Bakker, J.W.P. (författare)
- Faculty of Applied Physics, University of Twente, The Netherlands
-
- Järrendahl, Kenneth, 1964- (författare)
- Linköpings universitet,Institutionen för fysik, kemi och biologi,Tekniska högskolan
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2001
- 2001
- Engelska.
-
Ingår i: Thin Solid Films. - 0040-6090 .- 1879-2731. ; 394:1-2, s. 255-262
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Thin films of intrinsic, B- and P-doped a-Si:H were grown by d.c. magnetron sputter deposition. The doping was accomplished by doped targets and co-sputtering Si and B4C. Spectroscopic ellipsometry was used for optical characterization and multiple sample analysis was applied to extract the dielectric functions of intrinsic films with 8–10 at.% hydrogen content, boron doped films with 2.2 at.% hydrogen and phosphorous-doped films with hydrogen contents of 10–15 at.%. One of the phosphorous-doped films was micro-crystalline. Hydrogen content was determined by nuclear reaction analysis. From the obtained optical properties the absorption and the optical gap were studied addressing p–i–n diode applications. The optical gaps for intrinsic a-Si:H material were 1.88±0.03 eV as determined by Tauc analysis and 1.45±0.06 eV by applying Cody analysis.
Nyckelord
- TECHNOLOGY
- TEKNIKVETENSKAP
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas