Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:liu-46064" >
Growth, morphologic...
Growth, morphological and structural characterization of silicon carbide epilayers for power electronic devices applications
-
Pirri, CF (författare)
-
Porro, S (författare)
-
Ferrero, S (författare)
-
visa fler...
-
Celasco, E (författare)
-
Guastella, S (författare)
-
Scaltrito, L (författare)
-
- Yakimova, Rositsa (författare)
- Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial
-
- Syväjärvi, Mikael (författare)
- Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial
-
- Ciechonski, Rafal (författare)
- Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial
-
De Angelis, S (författare)
-
Crippa, D (författare)
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- Wiley, 2005
- 2005
- Engelska.
-
Ingår i: Crystal research and technology (1981). - : Wiley. - 0232-1300 .- 1521-4079. ; 40:10-Nov, s. 964-966
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Silicon carbide (SiC) is a wide band gap semiconductor, interesting for its physical properties such as high breakdown field, high saturated drift velocity and high thermal conductivity, which has been intensively studied in the last years. Although the high potentiality of this material, the SiC technology shows at the moment some limitations, indeed, the reliability of SiC-based devices is strictly correlated to the defects present in the crystalline structure. 4H-SiC epilayers were grown by Hot Wall Chemical Vapor Deposition (at 1600 degrees C) and by Sublimation techniques (at 2000 degrees C). A surface investigation of the epilayers has been performed finding particular physical finger-prints correlated with several kind of defects aimed at giving an important feedback to the epitaxial growth processes. (c) 2005 WILEY-VCH Verlag GmbH & Co. KGaA, Weinheim.
Nyckelord
- SiC
- growth
- epitaxial layer
- defects
- optical characterization
- structural characterization
- TECHNOLOGY
- TEKNIKVETENSKAP
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Pirri, CF
-
Porro, S
-
Ferrero, S
-
Celasco, E
-
Guastella, S
-
Scaltrito, L
-
visa fler...
-
Yakimova, Rosits ...
-
Syväjärvi, Mikae ...
-
Ciechonski, Rafa ...
-
De Angelis, S
-
Crippa, D
-
visa färre...
- Artiklar i publikationen
-
Crystal research ...
- Av lärosätet
-
Linköpings universitet