Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:liu-47482" >
Electrical and opti...
Electrical and optical properties of CNx(0=x=0.25) films deposited by reactive magnetron sputtering
-
Broitman, E. (författare)
-
Hellgren, N. (författare)
-
- Järrendahl, Kenneth (författare)
- Linköpings universitet,Tekniska högskolan
-
visa fler...
-
Johansson, M.P. (författare)
-
Olafsson, S. (författare)
-
- Radnoczi, G. (författare)
- Radnóczi, G., Res. Inst. Tech. Phys. and Mat. Sci., P.O. Box 49, H-1525 Budapest, Hungary
-
Sundgren, J.-E. (författare)
-
- Hultman, Lars (författare)
- Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Tunnfilmsfysik
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- AIP Publishing, 2001
- 2001
- Engelska.
-
Ingår i: Journal of Applied Physics. - : AIP Publishing. - 0021-8979 .- 1089-7550. ; 89:2, s. 1184-1190
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- The electrical and optical properties of carbon-nitride CNx films (O=x=0.25) deposited by unbalanced reactive magnetron sputtering from a graphite target in mixed Ar/N2 discharges at a substrate temperature of 350°C have been investigated. Pure C films exhibit a dark conductivity at room temperature of 250 O-1 cm-1, which grows up to 250 O-1 cm-1 for CNx films with N content of 20%. For CNx films, temperature-dependent conductivity measurements suggest that two electron conduction processes exist in the investigated temperature range 130
Nyckelord
- TECHNOLOGY
- TEKNIKVETENSKAP
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas