id:"swepub:oai:DiVA.org:liu-49895"
Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:liu-49895" > Step-bunching in 6H...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Step-bunching in 6H-SiC growth by sublimation epitaxy
-
- Syväjärvi, Mikael (författare)
- Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial
-
- Yakimova, Rositsa (författare)
- Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial
-
- Janzén, Erik (författare)
- Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Halvledarmaterial
- (creator_code:org_t)
- 1999
- 1999
- Engelska.
- Ingår i: Journal of Physics. - 0953-8984 .- 1361-648X. ; 11:49, s. 10019-10024
- Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Thick 6H-SiC epitaxial layers grown by sublimation epitaxy have been investigated concerning step-bunching. The macrostep appearances on the surfaces were studied for both (0001) Si and (000 (1) over bar) C faces. The surface structure on the Si face is less regular compared with the C face. Data on the steps have been collected and the step height shows a linear relation with the step width.
Nyckelord
- TECHNOLOGY
- TEKNIKVETENSKAP
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Syväjärvi, Mikae ...
- Yakimova, Rosits ...
- Janzén, Erik
- Artiklar i publikationen
- Journal of Physi ...
- Av lärosätet
- Linköpings universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
