Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:liu-50222" >
Deposition and char...
Deposition and characterization of ternary thin films within the Ti-Al-C system by DC magnetron sputtering
-
- Wilhelmsson, O. (författare)
- Uppsala universitet,Institutionen för materialkemi,Department of Materials Chemistry, The Ångström Laboratory, Uppsala University, P.O. Box 538, SE-751 21 Uppsala, Sweden
-
- Persson, Per (författare)
- Linköpings universitet,Uppsala universitet,Institutionen för materialkemi,Department of Materials Chemistry, The Ångström Laboratory, Uppsala University, P.O. Box 538, SE-751 21 Uppsala, Sweden,Tekniska högskolan,Tunnfilmsfysik
-
- Lewin, Erik (författare)
- Uppsala universitet,Institutionen för materialkemi,Department of Materials Chemistry, The Ångström Laboratory, Uppsala University, P.O. Box 538, SE-751 21 Uppsala, Sweden
-
visa fler...
-
- Emmerlich, Jens (författare)
- Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Tunnfilmsfysik
-
- Eklund, Per (författare)
- Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Tunnfilmsfysik
-
- Persson, Per (författare)
- Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Tunnfilmsfysik
-
- Högberg, Hans (författare)
- Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Tunnfilmsfysik
-
Li, S. (författare)
-
- Ahuja, Rajeev (författare)
- Uppsala universitet,Fysiska institutionen,Uppsala University, Dept. of Physics, The Ångström Laboratory, P.O. Box 530, SE-751 21 Uppsala, Sweden
-
- Eriksson, O. (författare)
- Uppsala universitet,Fysiska institutionen,Uppsala University, Dept. of Physics, The Ångström Laboratory, P.O. Box 530, SE-751 21 Uppsala, Sweden
-
- Hultman, Lars (författare)
- Linköpings universitet,Tekniska högskolan,Tunnfilmsfysik
-
- Jansson, U. (författare)
- Uppsala universitet,Institutionen för materialkemi,Department of Materials Chemistry, The Ångström Laboratory, Uppsala University, P.O. Box 538, SE-751 21 Uppsala, Sweden
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- Elsevier BV, 2006
- 2006
- Engelska.
-
Ingår i: Journal of Crystal Growth. - : Elsevier BV. - 0022-0248 .- 1873-5002. ; 291:1, s. 290-300
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- The formation of ternary compounds within the Ti-Al-C system was studied by magnetron sputtering for thin-film deposition and first-principles calculations for phase stability. As-deposited films were characterized with X-ray diffraction (XRD) and high-resolution transmission electron microscopy (TEM). The hardness and Young's moduli of the material were studied by nanoindentation. Epitaxial and phase-pure films of Mn+1AXn phases Ti3AlC2 and Ti2AlC as well as the perovskite phase Ti3AlC were deposited on Al2O3(00l) wafers kept at temperatures between 800 and 900 °C. The only ternary phases observed at low temperatures (300 °C) were Ti3AlC and cubic (Ti,Al)C, the latter can be described as a metastable solid solution of Al in TiC similar to the more studied (Ti,Al)N system. The difficulties to form MAX phases at low substrate temperatures were attributed of requirement for a sufficient diffusivity to partition the elements corresponding to the relatively complex crystal structures with long c-axes. While MAX-phase synthesis at 800 °C is significantly lower than contemporary bulk sintering processes, a reduction of the substrate temperature towards 300 °C in the present thin-film deposition experiments resulted in stacking sequence variations and the intergrowth of (Ti,Al)C. © 2006 Elsevier B.V. All rights reserved.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Kemi -- Oorganisk kemi (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Chemical Sciences -- Inorganic Chemistry (hsv//eng)
Nyckelord
- A1. Solid solutions
- A3. PVD
- B1. Carbides
- B1. MAX-phase
- B1. Perovksite
- TECHNOLOGY
- TEKNIKVETENSKAP
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Wilhelmsson, O.
-
Persson, Per
-
Lewin, Erik
-
Emmerlich, Jens
-
Eklund, Per
-
visa fler...
-
Högberg, Hans
-
Li, S.
-
Ahuja, Rajeev
-
Eriksson, O.
-
Hultman, Lars
-
Jansson, U.
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
-
NATURVETENSKAP
-
och Kemi
-
och Oorganisk kemi
- Artiklar i publikationen
-
Journal of Cryst ...
- Av lärosätet
-
Linköpings universitet
-
Uppsala universitet