Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:liu-69870" >
Effect of initial s...
Effect of initial substrate conditions on growth of cubic silicon carbide
-
- Vasiliauskas, Remigijus (författare)
- Linköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan
-
- Marinova, M. (författare)
- Aristotle University Thessaloniki
-
- Syväjärvi, Mikael (författare)
- Linköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan
-
visa fler...
-
- Liljedahl, Rickard (författare)
- Linköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan
-
- Zoulis, G. (författare)
- CNRS
-
- Lorenzzi, J. (författare)
- UCB Lyon 1
-
- Ferro, G. (författare)
- UCB Lyon 1
-
- Juillaguet, S. (författare)
- CNRS
-
- Camassel, J. (författare)
- CNRS
-
- K. Polychroniadis, E. (författare)
- Aristotle University Thessaloniki
-
- Yakimova, Rositsa (författare)
- Linköpings universitet,Halvledarmaterial,Tekniska högskolan
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- Elsevier Science B.V., Amsterdam. 2011
- 2011
- Engelska.
-
Ingår i: Journal of Crystal Growth. - : Elsevier Science B.V., Amsterdam.. - 0022-0248 .- 1873-5002. ; 324:1, s. 7-14
- Relaterad länk:
-
https://liu.diva-por... (primary) (Raw object)
-
visa fler...
-
http://liu.diva-port...
-
https://urn.kb.se/re...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- In order to analyze the epitaxial growth of cubic silicon carbide by sublimation epitaxy on different substrates, four different 6H-SiC substrate preparations were used: (i) as-received, (ii) re-polished, (iii) annealed and covered by silicon layer and (iv) with (1 1 1) 3C-SiC buffer layer. Almost 100% coverage and low twin density was achieved when grown on the buffer layer. The XRD and TEM characterizations show better material quality when the layer is grown directly on 6H-SiC substrates. Background doping evaluated by LTPL is in the range of 10(16) cm(-3) for N and 10(16) cm(-3) for Al in all grown layers.
Nyckelord
- Nucleation; Characterization; Substrates; Vapor phase epitaxy; Cubic silicon carbide
- TECHNOLOGY
- TEKNIKVETENSKAP
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Vasiliauskas, Re ...
-
Marinova, M.
-
Syväjärvi, Mikae ...
-
Liljedahl, Ricka ...
-
Zoulis, G.
-
Lorenzzi, J.
-
visa fler...
-
Ferro, G.
-
Juillaguet, S.
-
Camassel, J.
-
K. Polychroniadi ...
-
Yakimova, Rosits ...
-
visa färre...
- Artiklar i publikationen
-
Journal of Cryst ...
- Av lärosätet
-
Linköpings universitet