Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:liu-88140" >
X-ray photoemission...
X-ray photoemission and Auger electron spectroscopy analysis of fast responding activated metal oxide silicon carbide gas sensors
-
- Lloyd Spetz, Anita (författare)
- Linköpings universitet,Tillämpad Fysik,Tekniska högskolan
-
- Schmeisser, D. (författare)
- Technische Universitaet Cottbus, Germany
-
- Baranzahi, Amir (författare)
- Linköpings universitet,Tillämpad Fysik,Tekniska högskolan
-
visa fler...
-
- Wälivaara, B. (författare)
- Linköpings universitet,Tillämpad Fysik,Tekniska högskolan
-
- Göpel, W. (författare)
- Institut für Physikalische und Theoretische Chemie, Tübingen, Germany
-
- Lundström, Ingemar (författare)
- Linköpings universitet,Tillämpad Fysik,Tekniska högskolan
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- Elsevier, 1997
- 1997
- Engelska.
-
Ingår i: Thin Solid Films. - : Elsevier. - 0040-6090 .- 1879-2731. ; 299:1-2, s. 183-189
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Platinum-silicon dioxide-silicon carbide, MOSiC, sensors are possible to operate at high temperatures and show a gas sensitivity pattern which is of interest for many applications including exhaust gases from car engines. The introduction of a buffer layer of tantalum silicide between the metal and the silicon dioxide resulted, after an annealing step, in a very good adhesion of the gate contact and fast responding sensors with improved signal stability. Depth profiling using X-ray photoemission and Auger electron spectroscopy showed that the annealing step converts the tantalum silicide to a mixed phase predominantly containing tantalum pentoxide. Tantalum silicide as well as platinum silicide are also present in the metal-oxide interface region.
Nyckelord
- metal-oxide semiconductor structure; sensors; X-ray photoelectron spectroscopy; Auger electron spectroscopy; silicon carbide
- TECHNOLOGY
- TEKNIKVETENSKAP
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas