Fabrication of an integrated Delta E-E-silicon detector by wafer bonding using cobalt disilicide

Ämnesord

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER  -- Elektroteknik och elektronik (hsv//swe)

ENGINEERING AND TECHNOLOGY  -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)

Nyckelord

integrated DE-E detctor Wafer bonding

Electrical engineering, electronics and photonics

Elektroteknik, elektronik och fotonik

Publikations- och innehållstyp

ref (ämneskategori)

art (ämneskategori)