Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:miun-5505" >
Buried Schottky Con...
Buried Schottky Contacts in Patterned Cobalt Silicide Layers in Silicon Using Wafer Bonding
-
- Thungström, Göran (författare)
- Mittuniversitetet,Institutionen för informationsteknologi och medier (-2013)
-
- Fröjdh, Christer (författare)
- Mittuniversitetet,Institutionen för informationsteknologi och medier (-2013)
-
- Petersson, Sture (författare)
- Mittuniversitetet,Institutionen för informationsteknologi och medier (-2013)
-
(creator_code:org_t)
- 1994
- 1994
- Engelska.
-
Ingår i: Proceedings of the MRS Symposium. ; , s. 475-480
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
Ämnesord
Stäng
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Nyckelord
- Cobalt silicide wafer bonding
- Electrical engineering, electronics and photonics
- Elektroteknik, elektronik och fotonik
Publikations- och innehållstyp
- vet (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)