Atomic layer deposition of thin film laminates and solid solutions – the case of zinc tin oxide

Ämnesord

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER  -- Kemiteknik (hsv//swe)

ENGINEERING AND TECHNOLOGY  -- Chemical Engineering (hsv//eng)

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER  -- Materialteknik (hsv//swe)

ENGINEERING AND TECHNOLOGY  -- Materials Engineering (hsv//eng)

NATURVETENSKAP  -- Fysik -- Den kondenserade materiens fysik (hsv//swe)

NATURAL SCIENCES  -- Physical Sciences -- Condensed Matter Physics (hsv//eng)

Nyckelord

atomic layer deposition

thin films

semiconductors

spectroscopic ellipsometry

low energy ion scattering (LEIS)

Publikations- och innehållstyp

ref (ämneskategori)

kon (ämneskategori)