SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-258397"
 

Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-258397" > the very high rate ...

the very high rate plasma jet dry etching technique

Bardos, Ladislav (författare)
Berg, Sören (författare)
Uppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik
Blom, Hans-Olof (författare)
visa fler...
Barklund, AM (författare)
visa färre...
 (creator_code:org_t)
1990
1990
Engelska.
Ingår i: Journal of the Electrochemical Society. - 0013-4651 .- 1945-7111. ; 137:5, s. 1588-1591
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Ämnesord
Stäng  

Publikations- och innehållstyp

ref (ämneskategori)
art (ämneskategori)

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy