SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-258401"
 

Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-258401" > Process modelling o...

Process modelling of reactive sputtering

Berg, Sören (författare)
Uppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik
Blom, Hans-Olof (författare)
Larsson, T (författare)
visa fler...
Moradi, M (författare)
Nender, C (författare)
visa färre...
 (creator_code:org_t)
1989
1989
Engelska.
Ingår i: Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films. - 0734-2101 .- 1520-8559. ; 7:3, s. 1225-1229
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Ämnesord
Stäng  

Publikations- och innehållstyp

ref (ämneskategori)
art (ämneskategori)

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Hitta mer i SwePub

Av författaren/redakt...
Berg, Sören
Blom, Hans-Olof
Larsson, T
Moradi, M
Nender, C
Artiklar i publikationen
Journal of Vacuu ...
Av lärosätet
Uppsala universitet

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy