id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-258661"
Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-258661" > Silicon surface dam...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Silicon surface damage caused by reactive ion etching in fluorocarbon gas mixtures containing hydrogen
- Norström, H (författare)
- Östling, H-O BM (författare)
- Nylandstedt-Larsen, A (författare)
- visa fler...
- Keinonen, J (författare)
- visa färre...
- (creator_code:org_t)
- 1991
- 1991
- Engelska.
- Ingår i: Journal of Vacuum Science & Technology B. - 1071-1023 .- 1520-8567. ; 9:1, s. 34-40
- Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Hitta via bibliotek
- Journal of Vacuum Science & Technology B (Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Norström, H
- Östling, H-O BM
- Nylandstedt-Lars ...
- Keinonen, J
- Berg, Sören
- Artiklar i publikationen
- Journal of Vacuu ...
- Av lärosätet
- Uppsala universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
