id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-28416"
Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-28416" > In situ tensile str...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
In situ tensile strength measurement and Weibull analysis of thick film and thin film micromachined polysilicon structures
-
- Greek, S (författare)
- Uppsala universitet
-
- Ericson, F (författare)
- Uppsala universitet
-
- Johansson, S (författare)
- Uppsala universitet
- visa fler...
- visa färre...
- (creator_code:org_t)
- ELSEVIER SCIENCE SA LAUSANNE, 1997
- 1997
- Engelska.
- Ingår i: THIN SOLID FILMS. - : ELSEVIER SCIENCE SA LAUSANNE. - 0040-6090. ; 292:1-2, s. 247-254
- Tidskriftsartikel (övrigt vetenskapligt/konstnärligt)
Abstract
Ämnesord
Stäng
- A method is introduced in which tensile tests can be performed in situ on micromachined structures. The testing equipment consists of a testing unit mounted on a micromanipulator in a scanning electron microscope. The fracture loads of micromachined beam
Nyckelord
- silicon; stress
Publikations- och innehållstyp
- vet (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Greek, S
- Ericson, F
- Johansson, S
- Schweitz, JA
- Artiklar i publikationen
- THIN SOLID FILMS
- Av lärosätet
- Uppsala universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
