id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-28478"
Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-28478" > A SILICON CONDENSER...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
A SILICON CONDENSER MICROPHONE USING BOND AND ETCH-BACK TECHNOLOGY
-
- BERGQVIST, J (författare)
- Uppsala universitet
-
- RUDOLF, F (författare)
- Uppsala universitet
- (creator_code:org_t)
- ELSEVIER SCIENCE SA LAUSANNE, 1994
- 1994
- Engelska.
- Ingår i: SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL. - : ELSEVIER SCIENCE SA LAUSANNE. - 0924-4247. ; 45:2, s. 115-124
- Tidskriftsartikel (övrigt vetenskapligt/konstnärligt)
Abstract
Ämnesord
Stäng
- A new technology for the fabrication of condenser microphones in silicon has been developed. Bond and etch-back techniques and surface micromachining of monocrystalline silicon allow for a highly simplified process. The fabrication process has been applie
Nyckelord
- BONDING TECHNIQUE; CONDENSER MICROPHONES; ETCH-BACK TECHNIQUE; SILICON; NITRIDE MEMBRANE; ON-INSULATOR; PLATE
Publikations- och innehållstyp
- vet (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
- SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL (Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- BERGQVIST, J
- RUDOLF, F
- Artiklar i publikationen
- SENSORS AND ACTU ...
- Av lärosätet
- Uppsala universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
