id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-28698"
Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-28698" > Mechanical characte...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Mechanical characterization of thick polysilicon films: Young's modulus and fracture strength evaluated with microstructures
-
- Greek, S (författare)
- Uppsala universitet
-
- Ericson, F (författare)
- Uppsala universitet
-
- Johansson, S (författare)
- Uppsala universitet
- visa fler...
- visa färre...
- (creator_code:org_t)
- IOP PUBLISHING LTD, 1999
- 1999
- Engelska.
- Ingår i: JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING. - : IOP PUBLISHING LTD. - 0960-1317. ; 9:3, s. 245-251
- Tidskriftsartikel (övrigt vetenskapligt/konstnärligt)
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Young's modulus and the fracture strength of thick polysilicon films were evaluated with surface micromachined test structures. The polysilicon films were deposited in an epitaxial reactor and were about 10.5 mu m thick. Four different processing schemes
Nyckelord
- TENSILE-STRENGTH; STRESS
Publikations- och innehållstyp
- vet (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
- JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING (Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Greek, S
- Ericson, F
- Johansson, S
- Furtsch, M
- Rump, A
- Artiklar i publikationen
- JOURNAL OF MICRO ...
- Av lärosätet
- Uppsala universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
