Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-28718" >
Micromachining by i...
Micromachining by ion track lithography
-
- Thornell, Greger (författare)
- Uppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,MATERIALS SCIENCE/MST
-
- Spohr, R (författare)
- Uppsala universitet,Institutionen för kärn- och partikelfysik
-
van, Veldhuizen Elbert Jan (författare)
-
visa fler...
-
Hjort, Klas (författare)
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- ELSEVIER SCIENCE SA, 1999
- 1999
- Engelska.
-
Ingår i: SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL. - : ELSEVIER SCIENCE SA. - 0924-4247. ; 73:1-2, s. 176-183
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Micromachining by ion track etching (MITE) based on the lithographic projection of a mask onto an arbitrary ion track recording material using a parallel beam of highly energetic heavy ions, is described here. By this, deep microstructures have been produ
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Materialteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Materials Engineering (hsv//eng)
Nyckelord
- micromachining; lithography; etching
- Materials science
- Teknisk materialvetenskap
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas