id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-28789"
Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-28789" > Quartz micromachini...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Quartz micromachining by lithographic control of ion track etching
-
- Hjort, K (författare)
- Uppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,MATERIALS SCIENCE/MST
- Thornell, G (författare)
- Schweitz, JA (författare)
- visa fler...
- Spohr, R (författare)
- visa färre...
- (creator_code:org_t)
- AMER INST PHYSICS, 1996
- 1996
- Engelska.
- Ingår i: APPLIED PHYSICS LETTERS. - : AMER INST PHYSICS. - 0003-6951. ; 69:22, s. 3435-3436
- Tidskriftsartikel (övrigt vetenskapligt/konstnärligt)
Abstract
Ämnesord
Stäng
- A micromachining process, using ion track etching in combination with lithographic patterning, is presented. The technique employs a substrate pre-irradiated with swift heavy ions and uses a conventional Lithographic technique to control the access of a t
Publikations- och innehållstyp
- vet (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
- APPLIED PHYSICS LETTERS (Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Hjort, K
- Thornell, G
- Schweitz, JA
- Spohr, R
- Artiklar i publikationen
- APPLIED PHYSICS ...
- Av lärosätet
- Uppsala universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
