id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-30432"
Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-30432" > A Test Facility for...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
A Test Facility for micro Machining and Other Applications of Ion-assisted Etching Technology
-
- Westerberg, Lars (författare)
- Uppsala universitet,The Svedberg-laboratoriet
-
- Nilsson, Leif (författare)
- Uppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap
-
- van Veldhuizen, Elbert Jan (författare)
- Uppsala universitet,Fysiska institutionen
- visa fler...
- Romanski, Jan (författare)
- Ziemann, Volker (författare)
- Hjort, Klas (författare)
- Granqvist, Claes-Göran (författare)
- Nordgren, Joseph (författare)
- visa färre...
- (creator_code:org_t)
- 1996
- 1996
- Engelska.
- Ingår i: Abstract Book of the Tenth Int. Conf.on Thin Films.
- Konferensbidrag (övrigt vetenskapligt/konstnärligt)
Ämnesord
Stäng
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Materialteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Materials Engineering (hsv//eng)
Nyckelord
- Materials science
- Teknisk materialvetenskap
Publikations- och innehållstyp
- vet (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)
Till lärosätets databas
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Westerberg, Lars
- Nilsson, Leif
- van Veldhuizen, ...
- Romanski, Jan
- Ziemann, Volker
- Hjort, Klas
- visa fler...
- Granqvist, Claes ...
- Nordgren, Joseph
- visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
- TEKNIK OCH TEKNO ...
- och Materialteknik
- Artiklar i publikationen
- Abstract Book of ...
- Av lärosätet
- Uppsala universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
