id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-37328"
Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-37328" > Sputtering transien...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Sputtering transients for some transition elements during high-fluence MEVVA implantation of Si
-
- Zhang, YW (författare)
- Uppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,IONPHYSICS
- Zhang, TH (författare)
- Xiao, ZS (författare)
- visa fler...
- Whitlow, HJ (författare)
- visa färre...
- (creator_code:org_t)
- ELSEVIER SCIENCE BV, 2001
- 2001
- Engelska.
- Ingår i: NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WITH MATERIALS AND ATOMS. - : ELSEVIER SCIENCE BV. - 0168-583X. ; 173:4, s. 427-435
- Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Abstract
Ämnesord
Stäng
- The approach to quasi equilibrium sputtering of transition elements Co, Er. V and Ni during high-fluence implantation of Si(1 1 1) using a metal vapour vacuum are (MEVVA) source has been studied by time of flight-energy elastic recoil detection analysis (
Nyckelord
- sputtering transients; transition elements; silicide; MEVVA; ToF-E ERDA; RECOIL SPECTROMETRY; CO IMPLANTATION; ION-SOURCE; MULTICOMPONENT MATERIALS; SURFACE MODIFICATION; SIO2/SI; EFFICIENCY; FILMS; MASS
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
- NUCLEAR INSTRUMENTS & METHODS IN PHYSICS RESEARCH SECTION B-BEAM INTERACTIONS WI... (Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Zhang, YW
- Zhang, TH
- Xiao, ZS
- Whitlow, HJ
- Artiklar i publikationen
- NUCLEAR INSTRUME ...
- Av lärosätet
- Uppsala universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
