Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-39627" >
Oxygen plasma wafer...
Oxygen plasma wafer bonding evaluated by the weibull fracture probability method
-
- Jonsson, Kerstin (författare)
- Uppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,Materialvetenskap,Elektronik,Fasta tillståndets elektronik / ÅSTC,Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap
-
- Köhler, Johan (författare)
- Uppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,Materialvetenskap,Elektronik,Fasta tillståndets elektronik / ÅSTC,Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap
-
- Hedlund, Christer, 1964- (författare)
- Uppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,Materialvetenskap,Elektronik,Fasta tillståndets elektronik,Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap
-
visa fler...
-
- Stenmark, Lars (författare)
- Uppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,Materialvetenskap,Elektronik,ÅSTC,Uppsala universitet, Institutionen för materialvetenskap
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- 2000
- 2000
- Engelska.
-
Ingår i: Proc of the Eleventh Micromechanics Europe Workshop, Oct, Uppsala, Sweden.
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa fler...
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa färre...
Ämnesord
Stäng
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik -- Annan elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Nyckelord
- Electronics
- Elektronik
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)