SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-40481"
 

Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-40481" > The effects of HF-c...

The effects of HF-cleaning prior to silicon wafer bonding

Ljungberg, Karin (författare)
Uppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,Elektronik
Bäcklund, Ylva (författare)
Uppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,Elektronik
Söderbärg, Anders (författare)
Uppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,Elektronik
visa fler...
Bergh, M (författare)
Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
Andersson, M O (författare)
Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
Bengtsson, Stefan, 1961 (författare)
Chalmers tekniska högskola,Chalmers University of Technology
visa färre...
 (creator_code:org_t)
2019-12-07
1995
Engelska.
Ingår i: Journal of the Electrochemical Society. - : The Electrochemical Society. - 0013-4651 .- 1945-7111. ; 142:4, s. 1297-1303
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Ämnesord
Stäng  

Ämnesord

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER  -- Elektroteknik och elektronik -- Annan elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
ENGINEERING AND TECHNOLOGY  -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)

Nyckelord

Electronics
Elektronik

Publikations- och innehållstyp

ref (ämneskategori)
art (ämneskategori)

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy