Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-41067" >
Chemical Mechanical...
Chemical Mechanical Polishing for Surface Smoothing
-
- Forsberg, Markus (författare)
- Uppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,Elektronik,Fasta tillståndets elektronik
-
- Olsson, Jörgen (författare)
- Uppsala universitet,Institutionen för materialvetenskap,Elektronik,Fasta tillståndets elektronik
-
(creator_code:org_t)
- 2001
- 2001
- Engelska.
-
Ingår i: The 19th Nordic Semiconductor Meeting, Copenhagen, Denmark, May 20-23.
- Relaterad länk:
-
https://urn.kb.se/re...
Ämnesord
Stäng
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik -- Annan elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Nyckelord
- Electronics
- Elektronik
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)