Tyck till om SwePub Sök här!
id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-42640"
Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-42640" > Investigation of AL...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Investigation of ALCVD TM TiN/Al2O3/HfAlOx/Al2O3 stack on epitaxial Si and Si0.7Ge0.3
- Wu, D (författare)
- Lindgren, A-C (författare)
- Persson, S (författare)
- visa fler...
- Hellberg, P-E (författare)
- Zhang, S-L (författare)
- Östling, M (författare)
- Vainonen-Ahlgren, E (författare)
- Li, W-M (författare)
- Tois, E (författare)
- Tuominen, M (författare)
- visa färre...
- (creator_code:org_t)
- 2002
- 2002
- Engelska.
- Ingår i: IEEE SISC, December.
- Konferensbidrag (refereegranskat)
Ämnesord
Stäng
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik -- Annan elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Nyckelord
- Electronics
- Elektronik
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- kon (ämneskategori)
Till lärosätets databas
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Wu, D
- Lindgren, A-C
- Persson, S
- Hellberg, P-E
- Zhang, S-L
- Östling, M
- visa fler...
- Sjöblom, Gustaf
- Olsson, Jörgen
- Blom, Hans-Olof
- Vainonen-Ahlgren ...
- Li, W-M
- Tois, E
- Tuominen, M
- visa färre...
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
- TEKNIK OCH TEKNO ...
- och Elektroteknik oc ...
- och Annan elektrotek ...
- Artiklar i publikationen
- IEEE SISC, Decem ...
- Av lärosätet
- Uppsala universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
