Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-443682" >
Growth of two-dimen...
Growth of two-dimensional WS2 thin films by reactive sputtering
-
- Villamayor, Michelle Marie S. (författare)
- Uppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik
-
- Lindblad, Andreas (författare)
- Uppsala universitet,Oorganisk kemi,Institutionen för fysik och astronomi
-
- Johansson, Fredrik (författare)
- Uppsala universitet,Energimaterialens fysik
-
visa fler...
-
- Tran, Tuan (författare)
- Uppsala universitet,Tillämpad kärnfysik
-
- Pham, Ngan Hoang (författare)
- Uppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik
-
- Primetzhofer, Daniel (författare)
- Uppsala universitet,Tillämpad kärnfysik
-
- Sorgenfrei, Nomi L. A. N. (författare)
- Univ Potsdam, Inst Phys & Astron, Karl Liebknecht Str 24-25, D-14476 Potsdam, Germany.;Helmholtz Zentrum Berlin Mat & Energie GmbH, Inst Methods & Instrumentat Synchrotron Radiat Re, Albert Einstein Str 15, D-12489 Berlin, Germany.
-
- Giangrisotomi, Erika (författare)
- Helmholtz Zentrum Berlin Mat & Energie GmbH, Inst Methods & Instrumentat Synchrotron Radiat Re, Albert Einstein Str 15, D-12489 Berlin, Germany.
-
- Fohlisch, Alexander (författare)
- Univ Potsdam, Inst Phys & Astron, Karl Liebknecht Str 24-25, D-14476 Potsdam, Germany.;Helmholtz Zentrum Berlin Mat & Energie GmbH, Inst Methods & Instrumentat Synchrotron Radiat Re, Albert Einstein Str 15, D-12489 Berlin, Germany.
-
- Lourenco, Pedro (författare)
- Sorbonne Univ, CNRS, Inst NanoSci Paris, INSP, F-75005 Paris, France.
-
- Bernard, Romain (författare)
- Sorbonne Univ, CNRS, Inst NanoSci Paris, INSP, F-75005 Paris, France.
-
- Witkowski, Nadine (författare)
- Sorbonne Univ, CNRS, Inst NanoSci Paris, INSP, F-75005 Paris, France.
-
- Prevot, Geoffroy (författare)
- Sorbonne Univ, CNRS, Inst NanoSci Paris, INSP, F-75005 Paris, France.
-
- Nyberg, Tomas (författare)
- Uppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- Elsevier, 2021
- 2021
- Engelska.
-
Ingår i: Vacuum. - : Elsevier. - 0042-207X .- 1879-2715. ; 188
- Relaterad länk:
-
https://doi.org/10.1...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
https://urn.kb.se/re...
-
https://doi.org/10.1...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- We have deposited WS2 thin films on Si, SiO2/Si, and sapphire substrates by reactive sputtering from a WS2 target in an Ar/H2S atmosphere. We demonstrate that it is possible to deposit (001)-textured tungsten sulfide films that are thicker than 100 nm. However, the sputtered films are slightly substoichiometric with a composition of WS1.94. Films were deposited at different processing pressures (0.67 Pa?6.67 Pa), substrate temperatures (up to 700 ?C) and relative amounts of H2S (0%?100%) in the gas mixture. Structure, morphology, composition, and resistivity of the films were investigated for the different processing conditions. Results from X-ray diffraction show that best crystallization was achieved for the highest substrate temperatures and processing pressures. We show that the addition of H2S may help obtaining fully stoichiometric films and reduce the risk of losing the (001) texture for thicker films. The challenges of obtaining an epitaxial and fully stoichiometric film are pointed out and suggestions on how to modify the process parameters in order to obtain films with even higher quality are presented.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Kemi -- Materialkemi (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Chemical Sciences -- Materials Chemistry (hsv//eng)
Nyckelord
- Reactive sputtering
- Two-dimensional
- Thin film
- Tungsten sulfide
- Transition metal dichalcogenide
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
-
Vacuum
(Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Villamayor, Mich ...
-
Lindblad, Andrea ...
-
Johansson, Fredr ...
-
Tran, Tuan
-
Pham, Ngan Hoang
-
Primetzhofer, Da ...
-
visa fler...
-
Sorgenfrei, Nomi ...
-
Giangrisotomi, E ...
-
Fohlisch, Alexan ...
-
Lourenco, Pedro
-
Bernard, Romain
-
Witkowski, Nadin ...
-
Prevot, Geoffroy
-
Nyberg, Tomas
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
-
NATURVETENSKAP
-
och Kemi
-
och Materialkemi
- Artiklar i publikationen
-
Vacuum
- Av lärosätet
-
Uppsala universitet