Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-457930" >
Multicomponent TixN...
Multicomponent TixNbCrAl nitride films deposited by dc and high-power impulse magnetron sputtering
-
- Shu, Rui (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten
-
- Du, Hao (författare)
- Linköpings universitet,Plasma och ytbeläggningsfysik,Tekniska fakulteten,Guizhou Univ, Peoples R China
-
- Sadowski, Grzegorz (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten
-
visa fler...
-
- Dorri, Megan (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten
-
- Rosén, Johanna (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten
-
- Sortica, Mauricio A. (författare)
- Uppsala universitet,Tandemlaboratoriet,Uppsala Univ, Sweden
-
- Primetzhofer, Daniel (författare)
- Uppsala universitet,Tandemlaboratoriet,Institutionen för fysik och astronomi,Uppsala Univ, Sweden; Uppsala Univ, Sweden
-
- Lundin, Daniel (författare)
- Linköpings universitet,Plasma och ytbeläggningsfysik,Tekniska fakulteten,Univ Paris Saclay, France
-
- Le Febvrier, Arnaud (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten
-
- Eklund, Per (författare)
- Linköpings universitet,Tunnfilmsfysik,Tekniska fakulteten
-
visa färre...
-
(creator_code:org_t)
- Elsevier, 2021
- 2021
- Engelska.
-
Ingår i: Surface & Coatings Technology. - : Elsevier. - 0257-8972 .- 1879-3347. ; 426
- Relaterad länk:
-
https://doi.org/10.1...
-
visa fler...
-
https://doi.org/10.1...
-
https://liu.diva-por... (primary) (Raw object)
-
https://urn.kb.se/re...
-
https://doi.org/10.1...
-
https://urn.kb.se/re...
-
https://urn.kb.se/re...
-
visa färre...
Abstract
Ämnesord
Stäng
- Multicomponent TixNbCrAl nitride films were deposited on Si(100) substrates by reactive direct current magnetron sputtering (dcMS) and high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) in the absence of substrate heating and bias. Three single Ti, Nb, and Cr50Al50 targets were either driven by three de or three HiPIMS power supplies. The Ti content in the films was varied by tuning the power applied to the Ti target. The composition was determined by ion beam analysis. The nitrogen content is nearly stoichiometric (48-50 at.%) in the HiPIMS series, while the dcMS are understoichiometric (39-45 at.%). The crystal structure, stress and density of the studied film were investigated by X-ray techniques and the microstructure was examined by scanning electron microscopy. All the Ti-containing films for both series exhibit an fcc NaCl-type phase structure. In particular, the dcMS series shows a (111) preferred orientation, resulting in a faceted surface morphology compared to a dense and smooth microstructure of the HiPIMS films. The compressive stress of the HiPIMS series (> 2.0 GPa) is significantly larger than the values of the dcMS series (<0.5 GPa). Nanoindentation measurements show a maximum hardness of 29.9 GPa and Young's modulus of 304 GPa were obtained in the HiPIMS series. The results may promote HiPIMS techniques for the synthesis of complex multicomponent films for the application aspect to protective and hard coatings.
Ämnesord
- NATURVETENSKAP -- Kemi -- Materialkemi (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Chemical Sciences -- Materials Chemistry (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Materialteknik -- Bearbetnings-, yt- och fogningsteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Materials Engineering -- Manufacturing, Surface and Joining Technology (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Materialteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Materials Engineering (hsv//eng)
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Nanoteknik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Nano-technology (hsv//eng)
- NATURVETENSKAP -- Fysik -- Den kondenserade materiens fysik (hsv//swe)
- NATURAL SCIENCES -- Physical Sciences -- Condensed Matter Physics (hsv//eng)
Nyckelord
- High entropy nitrides
- HiPIMS
- Residual stress
- Hardness
- Corrosion resistance
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
Till lärosätets databas
- Av författaren/redakt...
-
Shu, Rui
-
Du, Hao
-
Sadowski, Grzego ...
-
Dorri, Megan
-
Rosén, Johanna
-
Sortica, Maurici ...
-
visa fler...
-
Primetzhofer, Da ...
-
Lundin, Daniel
-
Le Febvrier, Arn ...
-
Eklund, Per
-
visa färre...
- Om ämnet
-
- NATURVETENSKAP
-
NATURVETENSKAP
-
och Kemi
-
och Materialkemi
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Materialteknik
-
och Bearbetnings yt ...
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Materialteknik
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
-
TEKNIK OCH TEKNO ...
-
och Nanoteknik
-
- NATURVETENSKAP
-
NATURVETENSKAP
-
och Fysik
-
och Den kondenserade ...
- Artiklar i publikationen
-
Surface & Coatin ...
- Av lärosätet
-
Uppsala universitet
-
Linköpings universitet