id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-91916"
Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-91916" > Effect of dopants o...
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Effect of dopants on chemical mechanical polishing of silicon
-
- Forsberg, Markus (författare)
- Uppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik
- Keskitalo, Niclas (författare)
-
- Olsson, Jörgen (författare)
- Uppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik
- (creator_code:org_t)
- 2002
- 2002
- Engelska.
- Ingår i: Microelectronic Engineering. - 0167-9317. ; 60:1-2, s. 149-155
- Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Ämnesord
Stäng
Ämnesord
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER -- Elektroteknik och elektronik -- Annan elektroteknik och elektronik (hsv//swe)
- ENGINEERING AND TECHNOLOGY -- Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering -- Other Electrical Engineering, Electronic Engineering, Information Engineering (hsv//eng)
Publikations- och innehållstyp
- ref (ämneskategori)
- art (ämneskategori)
Hitta via bibliotek
- Microelectronic Engineering (Sök värdpublikationen i LIBRIS)
Till lärosätets databas
- 1 av 1
- Föregående post
- Nästa post
- Till träfflistan
Hitta mer i SwePub
- Av författaren/redakt...
- Forsberg, Markus
- Keskitalo, Nicla ...
- Olsson, Jörgen
- Om ämnet
-
- TEKNIK OCH TEKNOLOGIER
- TEKNIK OCH TEKNO ...
- och Elektroteknik oc ...
- och Annan elektrotek ...
- Artiklar i publikationen
- Microelectronic ...
- Av lärosätet
- Uppsala universitet
Sök utanför SwePub
- Sök vidare i:
- Google Book Search
- Google Scholar
Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.
- Copyright © LIBRIS - Nationella bibliotekssystem
- LIBRIS.kb.se
