SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-92225"
 

Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-92225" > Investigation of th...

Investigation of the thermal stability of reactively sputter deposited TiN MOS gate electrodes

Sjöblom, Gustaf (författare)
Westlinder, Jörgen (författare)
Uppsala universitet,Institutionen för teknikvetenskaper
Olsson, Jörgen (författare)
 (creator_code:org_t)
Odefinierat språk.
Ingår i: IEEE Transaction on electron devices.
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Ämnesord
Stäng  

Publikations- och innehållstyp

ref (ämneskategori)
art (ämneskategori)

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Hitta mer i SwePub

Av författaren/redakt...
Sjöblom, Gustaf
Westlinder, Jörg ...
Olsson, Jörgen
Artiklar i publikationen
Av lärosätet
Uppsala universitet

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy