SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-94805"
 

Sökning: id:"swepub:oai:DiVA.org:uu-94805" > Comparative Study O...

Comparative Study On The Impact Of TiN and Mo Metal Gates ON MOCVD-Grown HfO2 and ZrO2 High-k Dielectrics For CMOS Technology

Abermann, Stephan (författare)
Sjöblom, Gustaf (författare)
Uppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik
Efavi, Johnson (författare)
visa fler...
Lemme, Max (författare)
Olsson, Jörgen, 1966- (författare)
Uppsala universitet,Fasta tillståndets elektronik
Bertagnolli, Emmerich (författare)
visa färre...
 (creator_code:org_t)
2006
2006
Engelska.
Ingår i: Proceedings of 28th International Conference on the Physics of Semiconductors (ICPS).
  • Konferensbidrag (refereegranskat)
Ämnesord
Stäng  

Publikations- och innehållstyp

ref (ämneskategori)
kon (ämneskategori)

Till lärosätets databas

Hitta mer i SwePub

Av författaren/redakt...
Abermann, Stepha ...
Sjöblom, Gustaf
Efavi, Johnson
Lemme, Max
Olsson, Jörgen, ...
Bertagnolli, Emm ...
Artiklar i publikationen
Av lärosätet
Uppsala universitet

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy