SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

id:"swepub:oai:lup.lub.lu.se:0c04b3f1-526c-4c5f-bf87-8204547c500b"
 

Sökning: id:"swepub:oai:lup.lub.lu.se:0c04b3f1-526c-4c5f-bf87-8204547c500b" > Geometric control o...

Geometric control of diffusing elements on InAs semiconductor surfaces via metal contacts

Benter, Sandra (författare)
Lund University,Lunds universitet,NanoLund: Centre for Nanoscience,Annan verksamhet, LTH,Lunds Tekniska Högskola,Synkrotronljusfysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,LTH profilområde: Nanovetenskap och halvledarteknologi,LTH profilområden,LU profilområde: Ljus och material,Lunds universitets profilområden,Other operations, LTH,Faculty of Engineering, LTH,Synchrotron Radiation Research,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH,LTH Profile Area: Nanoscience and Semiconductor Technology,LTH Profile areas,Faculty of Engineering, LTH,LU Profile Area: Light and Materials,Lund University Profile areas
Jönsson, Adam (författare)
Lund University,Lunds universitet,NanoLund: Centre for Nanoscience,Annan verksamhet, LTH,Lunds Tekniska Högskola,Institutionen för elektro- och informationsteknik,Institutioner vid LTH,Other operations, LTH,Faculty of Engineering, LTH,Department of Electrical and Information Technology,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
Johansson, Jonas (författare)
Lund University,Lunds universitet,NanoLund: Centre for Nanoscience,Annan verksamhet, LTH,Lunds Tekniska Högskola,Teknisk nanovetenskap (CI),Utbildningsprogram, LTH,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,LTH profilområde: Nanovetenskap och halvledarteknologi,LTH profilområden,LU profilområde: Ljus och material,Lunds universitets profilområden,Other operations, LTH,Faculty of Engineering, LTH,Engineering Nanoscience (M.Sc.Eng.),Educational programmes, LTH,Faculty of Engineering, LTH,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH,LTH Profile Area: Nanoscience and Semiconductor Technology,LTH Profile areas,Faculty of Engineering, LTH,LU Profile Area: Light and Materials,Lund University Profile areas
visa fler...
Zhu, Lin (författare)
Lund University,Lunds universitet,MAX IV, Mjukvara,MAX IV, Tekniska divisionen,MAX IV-laboratoriet,MAX IV, Software,MAX IV, Technical division,MAX IV Laboratory
Golias, Evangelos (författare)
Lund University,Lunds universitet,MAX IV-laboratoriet,MAX IV Laboratory
Wernersson, Lars-Erik (författare)
Lund University,Lunds universitet,NanoLund: Centre for Nanoscience,Annan verksamhet, LTH,Lunds Tekniska Högskola,Nanoelektronik,Forskargrupper vid Lunds universitet,LTH profilområde: Nanovetenskap och halvledarteknologi,LTH profilområden,LTH profilområde: AI och digitalisering,LU profilområde: Ljus och material,Lunds universitets profilområden,Other operations, LTH,Faculty of Engineering, LTH,Nano Electronics,Lund University Research Groups,LTH Profile Area: Nanoscience and Semiconductor Technology,LTH Profile areas,Faculty of Engineering, LTH,LTH Profile Area: AI and Digitalization,Faculty of Engineering, LTH,LU Profile Area: Light and Materials,Lund University Profile areas
Mikkelsen, Anders (författare)
Lund University,Lunds universitet,NanoLund: Centre for Nanoscience,Annan verksamhet, LTH,Lunds Tekniska Högskola,Synkrotronljusfysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,LTH profilområde: Nanovetenskap och halvledarteknologi,LTH profilområden,LTH profilområde: Avancerade ljuskällor,LU profilområde: Ljus och material,Lunds universitets profilområden,Other operations, LTH,Faculty of Engineering, LTH,Synchrotron Radiation Research,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH,LTH Profile Area: Nanoscience and Semiconductor Technology,LTH Profile areas,Faculty of Engineering, LTH,LTH Profile Area: Photon Science and Technology,Faculty of Engineering, LTH,LU Profile Area: Light and Materials,Lund University Profile areas
visa färre...
 (creator_code:org_t)
2023
2023
Engelska.
Ingår i: Nature Communications. - 2041-1723. ; 14:1
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Abstract Ämnesord
Stäng  
  • Local geometric control of basic synthesis parameters, such as elemental composition, is important for bottom-up synthesis and top-down device definition on-chip but remains a significant challenge. Here, we propose to use lithographically defined metal stacks for regulating the surface concentrations of freely diffusing synthesis elements on compound semiconductors. This is demonstrated by geometric control of Indium droplet formation on Indium Arsenide surfaces, an important consequence of incongruent evaporation. Lithographic defined Aluminium/Palladium metal patterns induce well-defined droplet-free zones during annealing up to 600 °C, while the metal patterns retain their lateral geometry. Compositional and structural analysis is performed, as well as theoretical modelling. The Pd acts as a sink for free In atoms, lowering their surface concentration locally and inhibiting droplet formation. Al acts as a diffusion barrier altering Pd’s efficiency. The behaviour depends only on a few basic assumptions and should be applicable to lithography-epitaxial manufacturing processes of compound semiconductors in general.

Ämnesord

NATURVETENSKAP  -- Fysik -- Den kondenserade materiens fysik (hsv//swe)
NATURAL SCIENCES  -- Physical Sciences -- Condensed Matter Physics (hsv//eng)

Nyckelord

droplets, InAs, surface, XPEEM, metal contacts

Publikations- och innehållstyp

art (ämneskategori)
ref (ämneskategori)

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy