SwePub
Sök i LIBRIS databas

  Utökad sökning

id:"swepub:oai:lup.lub.lu.se:53cca3d7-d0a6-4bf7-8e05-a2e489d754dc"
 

Sökning: id:"swepub:oai:lup.lub.lu.se:53cca3d7-d0a6-4bf7-8e05-a2e489d754dc" > Achieving short hig...

Achieving short high-quality gate-all-around structures for horizontal nanowire field-effect transistors

Gluschke, J. G. (författare)
University of New South Wales
Seidl, J. (författare)
University of New South Wales
Burke, A. M. (författare)
Lund University,Lunds universitet,NanoLund: Centre for Nanoscience,Annan verksamhet, LTH,Lunds Tekniska Högskola,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Other operations, LTH,Faculty of Engineering, LTH,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH,University of New South Wales
visa fler...
Lyttleton, R. W. (författare)
Lund University,Lunds universitet,NanoLund: Centre for Nanoscience,Annan verksamhet, LTH,Lunds Tekniska Högskola,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Other operations, LTH,Faculty of Engineering, LTH,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH,University of New South Wales
Carrad, D. J. (författare)
University of New South Wales,University of Copenhagen
Ullah, A. R. (författare)
University of New South Wales,Te Herenga Waka / Victoria University of Wellington
Fahlvik, S. (författare)
Lund University,Lunds universitet,NanoLund: Centre for Nanoscience,Annan verksamhet, LTH,Lunds Tekniska Högskola,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Other operations, LTH,Faculty of Engineering, LTH,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
Lehmann, S. (författare)
Lund University,Lunds universitet,NanoLund: Centre for Nanoscience,Annan verksamhet, LTH,Lunds Tekniska Högskola,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Other operations, LTH,Faculty of Engineering, LTH,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
Linke, H. (författare)
Lund University,Lunds universitet,NanoLund: Centre for Nanoscience,Annan verksamhet, LTH,Lunds Tekniska Högskola,Fasta tillståndets fysik,Fysiska institutionen,Institutioner vid LTH,Other operations, LTH,Faculty of Engineering, LTH,Solid State Physics,Department of Physics,Departments at LTH,Faculty of Engineering, LTH
Micolich, A. P. (författare)
University of New South Wales
visa färre...
 (creator_code:org_t)
2018-12-14
2018
Engelska.
Ingår i: Nanotechnology. - : IOP Publishing. - 0957-4484 .- 1361-6528. ; 30:6
  • Tidskriftsartikel (refereegranskat)
Abstract Ämnesord
Stäng  
  • We introduce a fabrication method for gate-all-around nanowire field-effect transistors. Single nanowires were aligned perpendicular to underlying bottom gates using a resist-trench alignment technique. Top gates were then defined aligned to the bottom gates to form gate-all-around structures. This approach overcomes significant limitations in minimal obtainable gate length and gate-length control in previous horizontal wrap-gated nanowire transistors that arise because the gate is defined by wet-etching. In the method presented here gate-length control is limited by the resolution of the electron-beam-lithography process. We demonstrate the versatility of our approach by fabricating a device with an independent bottom gate, top gate, and gate-all-around structure as well as a device with three independent gate-all-around structures with 300, 200, and 150 nm gate length. Our method enables us to achieve subthreshold swings as low as 38 mV dec-1 at 77 K for a 150 nm gate length.

Ämnesord

TEKNIK OCH TEKNOLOGIER  -- Nanoteknik -- Nanoteknik (hsv//swe)
ENGINEERING AND TECHNOLOGY  -- Nano-technology -- Nano-technology (hsv//eng)
NATURVETENSKAP  -- Fysik -- Den kondenserade materiens fysik (hsv//swe)
NATURAL SCIENCES  -- Physical Sciences -- Condensed Matter Physics (hsv//eng)

Nyckelord

field-effect transistor
GAA
gate-all-around
nanowire
nanowire alignment

Publikations- och innehållstyp

art (ämneskategori)
ref (ämneskategori)

Hitta via bibliotek

Till lärosätets databas

Sök utanför SwePub

Kungliga biblioteket hanterar dina personuppgifter i enlighet med EU:s dataskyddsförordning (2018), GDPR. Läs mer om hur det funkar här.
Så här hanterar KB dina uppgifter vid användning av denna tjänst.

 
pil uppåt Stäng

Kopiera och spara länken för att återkomma till aktuell vy